EN
Чухал Аливаас Агаарын дуст нэгж Тогтвортой Байгууламжид
Микрочип бүтээхэдхээс хамаарах контаминацийн алдагдал
Микрочип бэлтгэх үйлдэл нь маш хамаагүй ажиллагаатай, ихэвчлэн томоохон шинж чанаруудад, жишээлбэл цус, эмзэг бутамж, химийн хөшгөөр тулгардаг. Метр болон микрометр хэмжээтэй гурван дэвшлийн зорилгоор ч мөн маш их нөлөө үзүүлдэг, энэ нь микрочипүүдийг ашиглахгүй болгож болно. Энэ тулгарлын гол улмаас нь хүний ажилтан, ашигладаг материалууд, ялангуяа агаарын эмзэг бутамж байдаг. Тиймээс чанартаа илүү сайн чанарлаг cleanroom протоколуудыг хэрэгжүүлэх шаардлагатай. Эндээс хойш агаартай shower-ууд нь semiconductor бэлтгэлийн орчинд маш чухал хэсэг болно. Тэд entry point-уудад тохиромжтой, эмзэг бутамжийг багасгах орчин үүсгэнэ, тулгарлын хамгаалалтыг ашиглан чанартаа илүү сайн чанарлаг cleanroom орчинд нөлөөлөхгүйг хадгална. Агаартай shower-уудыг хэрэгжүүлэх нь хамаагүй ажиллагаанд хамгаалалтын бие даавуу хэсэг болгон нэмэгдэнэ.
ISO стандарт Семикондуктор бэлтгэлийн орчин
ISO стандартын дагуу ажиллах нь семикондукторын бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн орчинд хангалттай шаардлагатай. Зөвхөн, ISO 14644-1 нь чимээ тогтмол байдалтай байршилын хувьд хязгаарлагдсан гаднах эвдлийн ангилах тухай строгийн мэдрэмжийг тодорхойлж, бүтээгдэхүүний зөвлөмжийг хадгалахын тулд хамгийн их боловсруулалтын түвшинг зааж өгнө. Эдгээр стандартад нөхцөл бүхийгээрээ хандах нь үйлдвэрлэгчидийн бүтээгдэхүүний ялгавартай үнэ цэнэтэй байдлыг хадгалахад маш чухал. Хөдөө ашиглах замбарааны ажиллагааны тухайн анхны үндсэн зохицуулалт болох хувьд ISO стандартад нөхцөл бүхийгээрээ хандахад тусалдаг. Тэд чимээ тогтмол байдалтай байршилд орж ирэх өмнө хамгийн их боловсруулалтыг бууруулж, хязгаарлагдсан байдалтай байршилын чимээг хадгалахад тусална. Хөдөө ашиглах замбарааныг байгууламжийн зорилгоор оруулж, семикондукторын бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн тухайн чимээ тогтмол байдалтай байршилын стандартыг хадгалах боломжийг олгодог.
Агаарын шүршүүр Хөдөлгөөнүүд болон боловсруулалтын үнэлгээ
ЭМБ-гийн харьцах хурдны амьсгалаар боловсруулалт
Хурдан дулааны амьсгалын системүүд нь Өндөр Эргийн Хувилбар Агаар (HEPA) фильтртэй нэгтгэлээр цэвэр орон суурин стандартыг хадгалах зорилгоор бүтээгдсэн агаарын душ системд ашиглагддаг. Энэ фильтрүүд нь 0.3 микрон хүртэлх хэмжээтэй 99.97%-ийг авч үзэх чадвартай, энэ нь агаартай хохирогчидыг ихээр бууруулдаг. Эдгээр системийн амжилт нь ороходойн хувьд хамгийн ихдээ 95%-аас илүү хэмжээнд хувиргах боломжтой. Энэ төстэй шошгоол нь их санаатай, лавлагааны цэвэр орон сууринд ашиглагддаг, мөн ихэвчлэн бага хэмжээтэй хохирогчид нь бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийг асуудал гаргаж, микросхемийн бодит байдлыг халддаг.
Нозлийн байгуулалтын оптимизаци
Агаарын душны цагаан төсгөлийн хавтгайн зургийг боловсруулах нь эрэлтүүдийг арилгахад их хэрэгцээтэй. Хавтгайнуудын стратегит зохион байгуулалт болон өнгөрүүлэл нь агаарын хуваарьгүй байдалыг ихээхүүлэх, хойшлуулсан байдлыг багасгахад тусална. Сангийн санал нь эдгээр боловсруулалтууд нь эрэлтүүдийг арилгах үзүүлэлтийг 20%-аас илүү ихээхүүлж, чимэглэлийн орчинд хамгийн сайн үр дүнгийн арга замыг олгодог. Харин агаарын шугамыг ижил байдлаар хөдөлгөөнд оруулахад тусална, тиймээс хүн амын эрэлтүүд нь хамгийн их хамаатай байдлыг багасгаж, стериль орчинг оролцоход хамгийн томъёотой арилжаа үзүүлдэг.
Циклийн цаг, эрэлтүүдийн бууралтын динамика
Гарын душийн цаг агаарын шоудыг зөв хамгийн их тохиргоо хийх шаардлагатай. Энэ нь агаарыг ихээр цэвэрлэх шаардлагыг операторуудын хүсэлтийн дагуу баланслахад тулгуурлан байдаг. Хувийн дунд гарах динамикийг оролцоод энэ тохиргооны арга замыг хяналттай болгоход том ёстой байдаг. Жишээлбэл, их хэмжээтэй хувийн дунд хурдан тогтох боломжтой ба эдгээр хувийг амжилттай устгахын тулд өөр агаарын чиглэлүүдийг ашиглах шаардлагатай. Гарын душийн ажиллагааг сайжруулахын тулд эдгээр динамикуудыг дагаж цаг агаарыг тохируулах нь контаминацийн хамааныг багасгахад их хөгжил үзүүлдэг болно. Энэ нь семикондукторын үйлдвэрлэлийн орчинд шаардлагатай их цэвэр сан барихад хамгийн их хувь нэмэгдэнэ.
Семикондукторын түвшинд хүрэх гарын душийн зорилго
Утсын хамгаалалт, материалын хослуулалт
Семикондукторын түвшинд хамаарах уур агаарын душ үүсгэхэд материалуудын хамтран ажиллах чадвар болон цаг цэрэгний нягтлал нь их хамгийн зориулж байна. Баригч материалууд нь хоолойгүй бөгөөд химийн сан буруутны хамгаалалттай байх ёстой, яагаад гэвэл эдгээр материалууд гаригт орсон хувийн бодисуудыг хараахан хэмжээнд татгалзах боломжтой. Энэ нь цэцэрлэгтэй орцоос илүү сан буруутай элементүүдийг оруулахгүйг шалгана. Мөн цаг цэрэгний нягтлал нь электростатикийн шидэвлийг багасгадаг. Электростатикийн шидэвлийн дүрмийг (ESD) хамгийн томоохон семикондукторын элементүүдийг хасах боломжтой учраас ESD-г багасгах арга зам, жишээлбэл, цаг цэрэгтэй байдалтай байршил эсвэл цуглуулагчийг оруулах нь гол хэрэглээ болно.
Туннель ба стандарт уур агаарын душийн тохиргоо
Туннель ба стандарт агаарын душ системүүдийг сонгох нь агаарын цэвэрлэлийн үр дүнтэй, орчин тутмын хязгааруудтай, болон үнэ зөвлөлтэй хандах ёстой. Туннель систем нь орж ирэх өмнөх байрангуйг ихэвчлэн цэвэрлэх магадлалыг нэмэгдүүлдэг, энэ нь стандарт системээс илүү сайн үр дүнг өгнө. Энэ дизайнууд нь ихэвчлэн орчин тутам шаарддаг, структурын хязгаартай харьцуулбал үнэ зөвлөл их байх боломжтой. Хөдөө аж ахуйн санхүүгийн шаардлага болон үйл ажиллагааны зорилго, зөв үнэ цэнэтэй холбоотой мэдээллийг шалгахад анхаарлаа хандуулах шаардлагатай.
Автоматик Интерлок Дуурь Бүс Систем
Семикондукторын түвшинд хамаарах утасны дулааны шоудорыг ашиглахад автоматик байршил багтаасан дулааны стандартыг ихэвчлэн ажиллуулдаг. Эдгээр системууд нягтралттай оролтын протоколыг хангах, эсвэл байршил багтаасан орц орохыг цэвэрлэхийг зөвлөж байна. Цэвэр байгууламж руу нь зөвхөн цэвэрлэгдсэн хүмүүс эсвэл бараа материалууд орж ирэхээр эдгээр байршил багтаасан системууд ажлын үйл ажиллагаагийн амжилт болон хамгааллыг ихэвчлэнэ. Энэ чадвар нь семикондукторын бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн дотоод процессийн бүтээмжийг хадгалдаг.
Семикондукторын үйлдвэрлэлд ажлын үр дүнтэй холбоотой
Цэвэрлэлийн хяналт ашиглан үр дүнг нэмэгдүүлэх
Гар шоуэр нь семикондукторын бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийг хамгийн их үр дүнтэй болгохodo дефект уур ариутгахад тусалж байна. Төрөөсөө гарч, олон үйлдвэрлэгчид гар шоуэртой зориулсан суваг ариутны строг контролоор үр дүн 15%-аас илүү сайжруулсан гэж хүлээн авдаг. Энэ нь контаминацийг багасгаж, дефект уур ариутгахад тусалж байна. Иймд бүтээгдэхүүний үнэт цэвэрлэх үйл ажиллагааны үнэ цэнэгийг багасгаж, үндсэн үйлдвэрлэлийн үнэ цэнэгийг сайжруулдаг. Хэсэгчлэн, гар шоуэр нь хамгийн их тохиолдолд контаминацийг багасгахад тусалж, семикондукторын бүтээгдэхүүний стабильдээ байдлыг хамгаалдаг.
Цэвэрлэгчийн сувагийн ажиллаж буй үеийн үнэ цэнэгийг багасгах
Холbooгийн шохойн системийг хадгалах нь семикондукторын бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэгчдэд ихэнх ур чадвар болно, гэхчээ.air shower-ууд тухайн бодлогыг хөндлөхөд их санаа зовж болно. Холbooгийн дотоод хувьд ороход гаралтын хэмжээг багасгах аргаар air shower-ууд шохойн давхаргын дамжуулалтыг багасгаад түүний амьдралын хугацаиг уртасгаж байна. Шинжилгээний мэдээлснээр эргэлзээтэй air shower системийг ашиглахад 30%-аас илүү тохиолдолд шалгах, засварлах зардалыг багасгах боломжтой. Энэ нь үйл ажиллагааны зардалыг бууруулж, холbooгийн орчин үеийн ажлын үр дүнтээ сайжруулж байна.
Анхааруулга: Fab Plant Contamination Reduction
Хүчирхэг нэгэн тооллого нь XYZ гэсэн семикондукторын бусад хөрөнгө оруулсан тогтвортой амьсгалын душ системийг ашигласан ёсоор, ядарсан эвдлийн хэмжээ 40%-аас багаслаа. Энэ их бууралт нь бусад хөрөнгө оруулсан тогтвортой үйлдвэрлэлийн үр дүнтэй зорилгоор нь илэрхийлэгдсэн. Ийм жишээнүүд нь шинэчлэгдсэн амьсгалын душ технологийн дундаж экономикийн үр дүнг, үйл ажиллагааны хамгааллыг тодорхойлно. Эдгээр тооллогуудын дэлгэрэнгүй шинжилгээ нь семикондукторын үйлдвэрлэлийн үйл ажиллагаанд чадварлаг ядарсан эвдлийн хянах системд төсвийн тухайн талаарх танилцуулга болохыг анхааруулж байна.
Амьсгалын душ системд гарч ирсэн шинэ технологи
Ирээдүйн цагт ядарсан эвдлийг шалгах хөтөч сensor
Өрөөний агаарын душийн зорилготой бичигт хамаарах үйлдлийг нь шинэчилсэн нь ихэвчлэн тохирсон сонголтуудтай. Эдгээр санал хүсэлтүүд нь өрөөний агаарын душийн системд оролцоход туслах боломжийг олгодог. Тухайн технологи нь стандарт бодит байдлыг хангах, эсвэл өөрчлөх шаардлагатай байдаг. Хэрэв танд шаардлагатай боломжтой бол өрөөний агаарын душ системийг програмчлахад туслах боломжтой.
Эрчим хөдлөлийн байдлаар ашигладаг дахин ашиглах систем
Ашиглагдаж буй хойшлуулалтын систем нь эрэвтэлж байгаа хавтаст шинэчлэгдсэн, гадаргуугийн амьдралыг зөв хангахад нэмэлтээр энергийн ашиглалтыг бууруулахад тусалдаг, яг л эрдэнэний үйл ажиллагааг хамгийн их хэмжээнд хянахад тусалдаг. Энэ системүүд нь энергийн ашиглалтыг 25%-аас илүү бууруулсан гэж мэдэгдэж байна. Энэ нь ажлын үнэ цэнийг бууруулан, эрдэнэний үйл ажиллагааг хамгийн их хэмжээнд хянахад зориулсан байгууллагуудад маш их саналтай үзэгдэл болгон орж ирж байна. Эрдэнэний үйл ажиллагааг хамгийн их хэмжээнд хянах нь албан ёсоор хамгийн томоохон зорилго болсон байдаг.
Холимогүй эргэлтээр хувиргах хөдөө ашиглан хурдан, бага хэмжээний хөрөнгө ороход тохиромжтой
Эрчимтэй гадаргууны хөдөлгөөн технологи нь эх сургамжийн агаарын системд ихэвчлэн зориулж, тодорхойлогдсон халуун, төрлийн хэмжээнд хандах боломжийг олгодог. Энэ мэргэшмэл байдлын олон төрлийг арилгахад анхааруулж, үйлдвэрлэлийн ажиллагаагаа илүү баттав. Энэ технологийг ашигласан агаарын шоудууд нь өөрчлөгдөх байдалд хандах боломжтой бөгөөд, загасан байдалд хамаарахгүйгээр үйл ажиллагаагаа илүү төстэй байлгахад туслана. Тиймээс энэ нь үйлдвэрлэлийн үр дүнг хамгийн сайн байдлаар гаргахад тусална.